*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;
*1 該數值為3σ值,是在我司無塵實驗室光學平臺下測得的鏡面標準塊的數值,輪廓數200000,積分時間200μs,手動調光信號強度至20%;
*2 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為2500Hz;
*3 此速率下X方向掃描點數為1024點,2048點時全量程掃描速率為3100Hz;
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8;