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光譜共焦傳感器·白光共焦技術用在精密測量和3D測量領域

發布時間:2021-06-11
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針對光學鏡片表面輪廓的測量,常見的測量方式包含探針法和白光干涉法。彩色激光位移同軸計,采用白光作為測量介質,白光在特殊透鏡組下會形成色散效應。被測物體不同深度會反射不同顏色的光,從而能測量探頭到被測物體表面距離和位移的目的。


其特別適合測量諸如鏡面等全反射面,原因是其與激光三角反射傳感器不同,光源是垂直照射被測物體,反光也是垂直返回探頭,鏡面可以最大限度的反射光斑。而三角反射式傳感器就更適合測漫反射面。




使用光譜共焦傳感器測量,可以得到超高分辨率。納米級分辨率源于上述經過特殊處理得到的加長光譜范圍。由于采用檢測焦點的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測量光斑,從而允許測量非常小的被測物體。這也意味著,即使被測表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。


白光干涉法為非接觸式光學測量方法,規避了接觸式測量方法存在的問題,同時擁有超高的測量精度。但白光共焦法需采用圖像拼合獲得完整輪廓,而拼合圖像將產生誤差,因此不適合較大體積或陣列分布的鏡片輪廓測量。


光譜共焦傳感器具上述兩種測量方法的優勢,還擁有超高的角度特性,高達2000Hz的測量頻率配合高精度測量平臺,保證了輪廓數據的水平方向分辨率,實現精密測量和3D測量的需求。


曲率半徑




鏡片陣列




劃痕檢測




海伯森技術光譜共焦傳感器


傳感頭HPS-CF系列





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